轉(zhuǎn)載：?我國首次建立納米級(jí)角度國家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
來源：國家市場監(jiān)督管理總局 時(shí)間：2024-10-10
記者8日了解到，市場監(jiān)管總局近日新批準(zhǔn)二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),、二維硅納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),、一維硅納米光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)3項(xiàng)國家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，能夠同時(shí)滿足納米制造產(chǎn)業(yè)角度和長度校準(zhǔn)需求,，為新一代信息技術(shù),、新材料、生物制造,、高端裝備等領(lǐng)域的納米制造提供精準(zhǔn)“標(biāo)尺”,。
研制高精度的納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),，是打造高準(zhǔn)確度納米測量傳遞鏈，提升國產(chǎn)納米制造產(chǎn)品質(zhì)量可靠性的關(guān)鍵,。 二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術(shù),，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù),，角度絕對準(zhǔn)確性在0.001°量級(jí),，相當(dāng)于把一個(gè)蛋糕按扇形均分成三十六萬份。
二維鉻納米柵格的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm×300μm,，在沒有劃傷或破壞的狀況下,，每次使用2μm×2μm，不重復(fù)使用測量區(qū)域次數(shù)可達(dá)20000次以上,。
可應(yīng)用于晶圓級(jí)原子力顯微鏡,、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設(shè)備校準(zhǔn)；
也可應(yīng)用于對超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準(zhǔn),。
納米級(jí)角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制成功,，實(shí)現(xiàn)了納米測量領(lǐng)域的扁平化計(jì)量，避免傳統(tǒng)逐級(jí)量值傳遞方式造成的誤差放大,，能夠通過在線校準(zhǔn)直接將高精度計(jì)量數(shù)據(jù)直接傳遞到企業(yè)計(jì)量現(xiàn)場,，為我國納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。
信息來源：央視新聞客戶端
